照射到下方的照片,也就是‘晶圆’,晶圆表面的光刻胶,就会出现一个逻辑电路的影子。
然后光刻胶凝固,晶圆的第二层‘氧化层’,则会出现一个逻辑电路的轮廓。
这个过程叫‘显影’。
有了轮廓,接下来就是‘刻蚀’。
犹如把刚刚喷吐在墙上的‘徐’字,抠出来,在墙上留下一个‘凹’下去的‘徐’,方便‘电子’在里面移动。
徐飞听得津津有味,眼看老学长不再讲,好奇道:“没了?”
“没了,就这简单。”
“那咱为啥造不出来?”
“你回忆一下这个过程,刻画掩膜版、制造射线级光源、精准到纳米级的曝光,还要确保掩膜版和晶圆上下对齐,避免错位的纳米级校对,以及在刻蚀过程中,包括曝光过程中,由于刻刀和镜头保持不动,机器操纵晶圆动来动去,一会加速,一会急停,一会旋转,对刻刀精度,对电机振动幅度,对后台控制系统稳定性的种种要求。”
“确实挺难。”
“是难吗?如果造和平武备的难度系数是1,造它的难度就是1万。”
“那制造大型粒子对撞机的难度呢?”
“100万。”
“幸亏我没打算造那玩意。”
“???”
不止老学长们,就连昏昏欲睡的顶头上司,也打个激灵,坐直了腰板。
徐飞眼看说漏嘴,若无其事的挽救道:“让徳国蔡司去造光刻机,咱搞代工。”
“小徐啊,咱也要努力,随着科技发展,东西方早晚会碰撞的。”
“明白。”
小课堂结束后,科学院赠送给tep大学-西校区,一台300纳米制程,用于教学的光刻机。
当天晚上运过来,早上就被电子实验室拆成了散件。
里面包括静音级线性电机、射线发生器、光学镜片
配套工具包括光学掩膜版、六寸晶圆
晶圆则由光刻胶、氧化层、硅片构成。
徐飞跟着科研人员忙活一天,数数录入的零部件,大约1.3万个。
其中,光学类,自家造不了,需要交给徳国蔡司。
电路设计类,由社科院搞定。
程序控制类,由电子实验室搞定。
生产加工类,由铁皮公司搞定。
至于